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场发射扫描电子显微镜

发布时间:2024年04月07日  |  查看次数:[]

设备型号:Quanta450FEG

设备原值:2650000元

购置日期:2013年12月   

管理人员:宋海(13830623722)

设备厂商:FEI

存放地点:重点实验室楼>103_电镜室

主要技术指标:

分辨率:

高真空:      1.2 nm at 30 kV (SE) 

                   2.5 nm at 30 kV (BSE) 

                   3.0 nm at 01 kV (SE) 

低真空:    1.4 nm at 30 kV (SE) 

                   2.5 nm at 30 kV (BSE)             

                   3.0 nm at 01 kV (SE) 

环境真空:    1.4 nm at 30 kV (SE) 

放大倍数:最大300000倍

加速电压:200V - 30kV,连续可调

电子枪:高稳定性Schottky热场发射电子枪

样品室真空:高真空(< 6e-4pa)、低真空(<10 - 130pa)和ESEM环境真空(<10 - 4000pa)

样品室:X=Y= 100mm ,Z= 60 mm ,倾斜5°- 70°,连续旋转 360°,重复精度2μm

图像处理器:最大4096×3536像素,文件格式包括有 TIFF(8位或16位)、BMP或JPEG

主要应用功能:

场发射环境扫描电镜型号为FEI公司Quanta 450 FEG,是一款兼容性很强的设备,同时配备有X射线能谱仪(EDS)、电子背散射衍射(EBSD)等附件,实现图像和成分的一体化分析功能。其中:扫描电镜系统(FEG SEM)配有三种真空(高真空,低真空和环境真空)模式,采用先进的系统结构平台和全数字化系统控制,可在所有真空条件下对各种样品进行二次电子、背散射电子的分析;EDS用于微区成分分析,并具备点、线、面分析功能;EBSD用于晶体取向、微织构分析、物相鉴定、应变和真实晶粒尺寸测量等。该仪器设备广泛应用于地质、材料、冶金、化学、环境和生物等学科领域,同时实现高分辨形貌观察、微区成分测量。同时,由于该设备对于样品处理环节省略使样品可以保持原始状态,保证了数据的真实性,可重复性得到了最大限度的保证,真正实现了无损检测,是公安、医学、生物、材料和地球科学等领域重要基础测试分析仪器设备。

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